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本发明公开了一种三维多层垂直耦合光互连结构及其软光刻的制作方法。直波导输入输出段、Ｓ形弯曲坡面结构、长方体结构和平面光传输波导位于基版的表面，Ｓ形弯曲波导位于Ｓ形弯曲坡面结构的表面，直波导输入输出段位于长方体结构的表面，基版上的直波导输入输...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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