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一种半导体加工用输送装置制造方法及图纸
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下载一种半导体加工用输送装置的技术资料
文档序号:26674666
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本实用新型涉及半导体技术领域,且公开了一种半导体加工用输送装置,包括装置本体和放置盒,所述放置盒的侧壁上对称设置有安装孔,且安装孔线性阵列设置在放置盒的侧壁上,所述安装孔的一端内侧壁上固定连接有挡板,所述挡板的一端侧壁上对称设置有压缩弹簧,...
该专利属于顾骏所有,仅供学习研究参考,未经过顾骏授权不得商用。
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