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一种彩色滤光片的蚀刻方法，此方法是先提供基板，此基板上已形成有多层式滤光片材料层。之后，将基板置入蚀刻反应室中，通入含有物理反应气体与化学反应气体的混合气体，以进行干式蚀刻工艺，将多层式滤光片材料层图案化。...
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