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一种半导体生产制造用光刻机制造技术
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下载一种半导体生产制造用光刻机的技术资料
文档序号:26673397
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本实用新型涉及半导体生产技术领域,且公开了一种半导体生产制造用光刻机,包括基座,所述基座中部的顶面固定连接有支撑架,所述支撑架的顶部固定安装有光刻机本体,所述光刻机本体底部一侧的表面设置有光源定位机构,所述光源定位机构的中部固定安装有承接架...
该专利属于肇庆悦能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过肇庆悦能科技有限公司授权不得商用。
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