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一种半导体籽晶晶向测量工装,包括上部盖体、下部盖体,上部盖体与下部盖体铰接,上部盖体的一端设置有上部基准端面,上部盖体的内部开设有上部籽晶卡槽,下部盖体的一端设置有下部基准端面,下部基准端面与上部基准端面处于同侧,下部盖体上与上部籽晶卡槽相...该专利属于宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。
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一种半导体籽晶晶向测量工装,包括上部盖体、下部盖体,上部盖体与下部盖体铰接,上部盖体的一端设置有上部基准端面,上部盖体的内部开设有上部籽晶卡槽,下部盖体的一端设置有下部基准端面,下部基准端面与上部基准端面处于同侧,下部盖体上与上部籽晶卡槽相...