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提供一种包括光波导部分和光子器件安装部分的光波导器件。在高温退火后对掩模进行构图以形成其上安装有发光器件的基座块。因此，即使在制造工艺期间该器件在高温下经受热处理，对掩模也没有影响。这使得能够形成高精度的基座块。因此，在基座块上安装发光器件...
该专利属于日本电气株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本电气株式会社授权不得商用。

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