光波导器件及其制造方法技术

提供一种包括光波导部分和光子器件安装部分的光波导器件。在高温退火后对掩模进行构图以形成其上安装有发光器件的基座块。因此，即使在制造工艺期间该器件在高温下经受热处理，对掩模也没有影响。这使得能够形成高精度的基座块。因此，在基座块上安装发光器件时能够实现高精度的光学耦合。

【技术实现步骤摘要】

符合本专利技术的设备和制造方法涉及一种包括基板上的光波导部分和光学器件安装部分的光波导器件。
技术介绍
在光存取市场中使用的光学收发机大致分成由激光二极管(LD)、光电探测器(PD)、薄膜滤光器和透镜组成的微型光学模块、以及通过在硅基板上制造硅石波导以及表面安装LD和PD而配置的平面光波电路(PLC)。虽然它们两个都具有优缺点，但后者在成本和输送方面是更有利的，因为它不需要光轴调节。不需要光轴调节的该安装方法通常称为“被动对准安装(passive alignment mounting)”。在被动对准安装中，通过利用红外发射的光来对配置到光波导芯片和光学部件的对准标记执行图像检测和识别，从而确定光学部件相对光波导芯片的平面位置。通过被称为基座的块的高度来确定光学部件的垂直位置。因为基座高度可以以高精度制造，所以能够通过在基座上安装光学部件而使该高度以高精度与光波导匹配。在日本专利号2,823,044中公开了该种光波导器件。图3示出了在该专利中公开的现有技术的光波导器件的分解透视图。在图3中，光波导器件50包括光波导部分56，其由具有形成在硅基板51上的下覆层521和522、芯层53本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光波导器件，包括：光波导部分，其包括：形成在基板上的下覆层；形成在所述下覆层上的芯层；和形成在所述芯层的上覆层；和光子器件安装部分；和光子器件，其安装在所述光子器件安装部分上并光学地连接至所述光波导部分的端面，其中至少所述芯层包括等离子化学气相淀积（ＣＶＤ）膜。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：渡边真也，
申请(专利权)人：日本电气株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[]