下载一种单晶炉加料系统的技术资料

文档序号:26666593

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本实用新型实施例提供了一种单晶炉加料系统,所述单晶炉加料系统包括:单晶炉和加料装置,其中,单晶炉包括炉体、保温层、坩埚以及止挡件。炉体上开设有第一加料口,保温层与第一加料口相对的位置设置有第二加料口;加料装置包括输料件,输料件依次可活动穿设...
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