下载包含基于SOI的光学部件的多个集成电路的垂直堆叠的技术资料

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垂直堆叠的集成电路包括至少一个CMOS电子集成电路(IC)、基于SOI的光电子集成电路结构和光输入/输出耦合部件。多个金属化通路可穿过堆叠的厚度而形成,以便电气连接可在各个集成电路之间实现。能使用不同类型的光输入/输出耦合,如棱镜耦合、光栅...
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