下载混合集成单纤三向器的技术资料

文档序号:2665661

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一种混合集成单纤三向器,包括:一衬底;一粗波分复用器制作在衬底的上面;一第一输入波导制作在衬底上;一输出波导制作在衬底上,位于粗波分复用器的另一侧;一波导制作在衬底上;一第二输入波导制作在衬底上,其一端与粗波分复用器相连;一激光器混合集成在...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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