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本发明的微机械结构体系统包括：至少一部分由单晶材料形成的可动结构体（５）、支承可动结构体（５）的弹性支承部件（１０）、至少一部分与可动结构体（５）相对的固定电极部（１３、２５）、以及具有电路部并固定有固定电极部（１３、２５）的基台（２２）。...
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