下载制造光学透镜的工艺的技术资料

文档序号:2665370

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将半导体衬底阳极化,使其成形为光学透镜。在阳极化之前,完成衬底并且在其下表面上具有阳极图案,从而将阳极和衬底加固成为整体结构,其中阳极图案被准确地再现在衬底上。阳极化利用了电解液,一旦由于阳极化而形成氧化部分,电解液即蚀刻掉氧化部分,由此以...
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