温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种连续制备透明导电薄膜的方法及装置，所述方法是将沉积缓冲层后的衬底先磁控溅射本征ZnO膜层，之后磁控溅射掺杂Al的ZnO透明导电膜层；其中，磁控溅射本征ZnO膜层采用的靶材为掺杂0.1‑0.5wt％Al的ZnO，腔室压力为0....
该专利属于宣城开盛新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宣城开盛新能源科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。