温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种自动交接的多尺寸硅片传输装置，包括硅片抓取机械手、传送导轨、硅片交接机构和对准基板。硅片抓取机械手通过真空装置实现硅片取放，其通过旋转臂吸附与旋转柱限位钉限位可实现180°往复硅片吸附；传送导轨为整个机构的传输通道，通过齿轮...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。