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本发明提供一种储片盒开门装置，包括主密封板和设置在主密封板一侧的储片盒传输组件，储片盒传输组件用于承载储片盒并带动储片盒靠近主密封板，以使储片盒的底座与主密封板贴合，储片盒开门装置还包括多个储片盒固定组件，储片盒固定组件设置在主密封板上，用...
该专利属于北京七星华创集成电路装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创集成电路装备有限公司授权不得商用。

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