下载一种用于功率器件封装的夹具系统的技术资料

文档序号:26652314

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本发明涉及功率半导体器件制造技术领域,具体提供一种用于功率器件封装的夹具系统,包括:第一夹具(1),用于盛装、处理和转移焊料;第二夹具(2),对经过所述第一夹具(1)运送的焊料进行涂抹并完成贴片的功率器件进行烧结键合;所述第一夹具(1)可自...
该专利属于深圳第三代半导体研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳第三代半导体研究院授权不得商用。

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