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本申请提供一种用于等离子体腔室内部的部件及其制作方法，其中，等离子体腔室内部的部件上设置有涂层形，所述涂层包括稀土元素的氟氧化物，化学式为Re...
该专利属于中微半导体设备(上海)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备(上海)股份有限公司授权不得商用。

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