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本发明涉及一种校正束路径(3)中的中心误差和/或角度误差的光学布置和方法。束路径(3)在此包括光学补偿的系统(4)，在该光学补偿的系统中存在至少两个光学元件(5、6)且它们相对于彼此对准，使得光学元件(5、6)的成像像差被补偿。根据本发明，...该专利属于卡尔蔡司显微镜有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司显微镜有限责任公司授权不得商用。
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本发明涉及一种校正束路径(3)中的中心误差和/或角度误差的光学布置和方法。束路径(3)在此包括光学补偿的系统(4)，在该光学补偿的系统中存在至少两个光学元件(5、6)且它们相对于彼此对准，使得光学元件(5、6)的成像像差被补偿。根据本发明，...