校正中心误差和/或角度误差的光学布置和方法技术

本发明专利技术涉及一种校正束路径(3)中的中心误差和/或角度误差的光学布置和方法。束路径(3)在此包括光学补偿的系统(4)，在该光学补偿的系统中存在至少两个光学元件(5、6)且它们相对于彼此对准，使得光学元件(5、6)的成像像差被补偿。根据本发明专利技术，校正单元(8)布置在束路径(3)的无穷远空间中且布置在至少两个光学元件(5、6)之间，其中所述校正单元(8)改变辐射沿着束路径(3)传播的传播方向，且校正单元(8)具有反射表面或者被实施为对于辐射是透射的。校正单元(8)是可调节的，使得可以设定传播方向变化的角度。

【技术实现步骤摘要】
校正中心误差和/或角度误差的光学布置和方法
本专利技术涉及一种校正中心误差(centrationerrors)和/或角度误差的光学布置和方法。
技术介绍
在诸如光学显微镜的成像光学系统中，由于诸如透镜、反射镜等的光学元件而发生成像像差。所述成像像差可通过适当地选择和组合单独元件来补偿，从而使得具有多个单独透镜的光学系统没有或几乎没有成像像差。补偿成像像差所需的复杂度(例如进行充分校正或补偿所需的光学元件的数目)取决于数值孔径(NA)和视场角或视场。下面，术语“成像像差的补偿”将主要用在光学元件被选择且以有目标的方式相对于彼此对准以补偿成像像差的时候。因此，补偿可以理解为很大程度上是减少成像像差的静态措施。相反，如果例如光学元件在束路径中的位置和/或角位置发生主动改变，则下文将很大程度上指的是校正。光学系统由产生成像的表示或中间成像的表示的多个组件构成。在每个中间成像的表示中都不需要相同的校正质量。因此，还可以通过使光学元件的组相对于彼此对准来补偿成像像差。这种分组的过程使得误差减少更加容易。此外，显著改进了最终的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种校正中心误差和/或角度误差的光学布置，在束路径(3)中包括：/n-光学补偿的系统(4)，其中存在至少两个光学元件(5、6)且它们相对于彼此对准，使得所述光学元件(5、6)的成像像差被补偿；/n其特征在于，/n-校正单元(8)布置在所述束路径(3)的无穷远空间中且布置在所述至少两个光学元件(5、6)之间，其中所述校正单元(8)改变沿着所述束路径(3)传播的辐射的传播方向，且所述校正单元(8)具有反射表面或者被实施为对于所述辐射是透射的，并且/n-所述校正单元(8)是可调节的，使得能够设定所述传播方向变化的角度。/n

【技术特征摘要】
20190605 DE 102019208232.71.一种校正中心误差和/或角度误差的光学布置，在束路径(3)中包括：
-光学补偿的系统(4)，其中存在至少两个光学元件(5、6)且它们相对于彼此对准，使得所述光学元件(5、6)的成像像差被补偿；
其特征在于，
-校正单元(8)布置在所述束路径(3)的无穷远空间中且布置在所述至少两个光学元件(5、6)之间，其中所述校正单元(8)改变沿着所述束路径(3)传播的辐射的传播方向，且所述校正单元(8)具有反射表面或者被实施为对于所述辐射是透射的，并且
-所述校正单元(8)是可调节的，使得能够设定所述传播方向变化的角度。


2.根据权利要求1所述的光学布置，其特征在于，所述校正单元(8)具有反射镜(9)。


3.根据权利要求1或2所述的光学布置，其特征在于，所述校正单元(8)具有棱镜对(16、17)，并且每个棱镜(16、17)绕相关棱镜(16、17)的入射面的法线是可旋转的。


4.根据前述权利要求中的任一项所述的光学布置，其特征在于，所述校正单元(8)是以控制的方式或反馈控制的方式可调节的。


5.根据前述权利要求中的一项所述的光学布置，其特征在于，所述补偿的系统(4)的光学元件(5、6)中的一个光学元件能够相对于所述束路径(3)倾斜。


6.根据权利要求5所述的光学布置，其特征在于，检测器(18)能够相对于所述束路径(3)倾斜，其中由于所述补偿的系统(4)的倾斜的光学元件(5、6)而发生的物场倾斜通过所述检测器(18)的倾斜来补偿。


7.一种校正根据权利要求1至6中的任一项所述的光学布置的束路径(3)中的中心误差和/或角度误差...

【专利技术属性】
技术研发人员：T埃格洛夫，R兰格，A谢普斯，J温特罗特，
申请(专利权)人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE