下载晶圆上实现SLT自动多芯片同测系统的技术资料

文档序号:26649837

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本发明公开了晶圆上实现SLT自动多芯片同测系统,属于芯片测试技术领域。本晶圆上实现SLT自动多芯片同测系统,包括底座,所述底座顶部表面的四角均固定连接有支撑杆,所述支撑杆的顶部固定连接有承载台,所述承载台顶部的表面开设有安装槽。本发明通过设...
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