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一种缺陷检测的方法及缺陷检测设备技术
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文档序号:26649606
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本申请公开了一种缺陷检测的方法,包括:采用低能量激光且沿预设路径对检测对象的待检测区域进行激光照射,在沿预设路径对待检测区域进行激光照射的同时,采集散射光信息,根据沿预设路径进行激光照射时产生的散射光信息的变化情况确定待检测区域中是否存在缺...
该专利属于华为技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华为技术有限公司授权不得商用。
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