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具有光学耦合层的集成电路器件制造技术
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下载具有光学耦合层的集成电路器件的技术资料
文档序号:2664928
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描述了在包括集成电路层的垂直布置的集成电路器件(102)中,在其第一集成电路层(104)和第二集成电路层(106)之间耦合光信号(S1)。所述光信号(S1)在第一集成电路层(104)内在光子晶体缺陷波导(110)和光子晶体缺陷腔(112)之...
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