下载用于校准反射镜的设备和方法的技术资料

文档序号:2664656

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一种用于测量衍射光调制器的镜的位置并执行补偿或校准的设备,包括:光源,用于产生光并发射光;衍射光调制器,用于当驱动信号输入时通过调制从光源入射的光来产生衍射光;驱动装置,用于将驱动信号输出到衍射光调制器;光量检测装置,用于测量由衍射光调制器...
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