用于校准反射镜的设备和方法技术

一种用于测量衍射光调制器的镜的位置并执行补偿或校准的设备，包括：光源，用于产生光并发射光；衍射光调制器，用于当驱动信号输入时通过调制从光源入射的光来产生衍射光；驱动装置，用于将驱动信号输出到衍射光调制器；光量检测装置，用于测量由衍射光调制器发射的衍射光的量；以及校正数据计算装置，用于当测试者基于从光量检测装置输出的衍射光的量来设定参考电压范围时，使用由光量检测装置获得的衍射光的量来计算基于像素的校正数据。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术总地涉及一种用于测量衍射光调制器的镜的位置并执行位置补 偿的设备以及一种控制该设备的方法，且更具体地，涉及一种用于测量衍射 光调制器的镜的位置并执行位置补偿的设备以及一种控制该设备的方法，该 设备通过测量镜的电容、压电材料层的电容或输出衍射光的强度测量衍射光 调制器的镜的位置并执行位置补偿。
技术介绍
随着微技术的发展，微电子机械系统(MEMS)器件和其中组装有MEMS 器件的小尺寸设备正引起关注。MEMS器件以微结构形式形成于诸如硅衬底或玻璃衬底的一衬底上， 并且是一种器件，其中电地或机械地组合有用于输出机械激励力的激励器和 用于控制激励器的半导体集成电路(IC)。这种MEMS器件的基本特征是， 具有一机械结构的激励器组装在器件的一部分中。使用电极间的库仑力电操 作激励器。图1和图2图示了利用光的反射或衍射并应用于光学开关或光调制器件 的代表性光学MEMS器件的构造。如图1所示的光学MEMS器件1包括衬底2、形成于衬底2上的衬 底侧电极3、配置成具有相对于并平行于衬底侧电极3地设置的激励侧电极 4的悬臂梁6、配置成支撑悬臂梁6的一端的支撑7。梁6和衬底侧电极3通过间隙8本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于校准用于显示系统的衍射光调制器的设备，包括：光源，用于产生光并发射光；衍射光调制器，用于当驱动信号输入时通过调制从所述光源入射的光来产生衍射光，所述衍射光用于产生光学输出显示；驱动装置，用于将驱动信号发送到所述衍射光调制器；光检测器，用于测量由所述衍射光调制器发射的衍射光的量，所述测量发生在所述光学输出显示之前的位置；以及校准数据计算装置，用于在整个基于由所述光检测器测得的衍射光的量的参考电压范围内使用由所述光检测器获得的衍射光的量来计算基于像素的校准数据。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：尹相璟，安承道，
申请(专利权)人：三星电机株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]