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本发明公开了一种折射式投影光学系统，采用全折射式的结构，避免使用转折棱镜和较大的球面反射镜，降低了加工和装配的难度；该折射式投影光学系统具有较长的物方和像方工作距，降低了实际使用过程中对工件台和掩模台设计空间的约束；该折射式投影光学系统均采...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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