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一种单晶硅切片的研磨机制造技术
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下载一种单晶硅切片的研磨机的技术资料
文档序号:26643895
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本发明公开了一种单晶硅切片的研磨机,其结构包括有立轨、活动座、分流式研磨装置、升降缸、研磨框、硅片固定装置、过滤罩、集尘罩、支座,本发明具有的效果:将硅片安装在硅片固定装置上,分流式研磨装置在升降缸的带动下与硅片固定装置连接,使硅片研磨过程...
该专利属于张诗颖所有,仅供学习研究参考,未经过张诗颖授权不得商用。
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