下载一种半导体元件加工用散热装置的技术资料

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本实用新型公开了一种半导体元件加工用散热装置,包括支撑底座,所述支撑底座的上表面固定安装有安装座,支撑底座的内侧装有水体,支撑柱上水平设置有支撑托板,支撑托板上设置有半导体元件,安装座的内侧开设有冷却腔,风机支撑架的顶部固定安装有风机,进气...
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