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本发明提出一种全折射式投影物镜，用于将物平面内的图案投射到像平面内，所述投影物镜系统由２５片光学镜片组成，从物面到像面依次排列有五个镜片组，其中，第一和第三镜片组具有负光焦度，第二、第四和第五镜片组具有正光焦度，本发明可以控制物方和像方远心...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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