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宽带光耦合到薄的SOI CMOS集成光路制造技术
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文档序号:2661832
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一种用于提供光耦合进和耦合出相对薄的硅波导的装置,所述相对薄的硅波导在SOI结构的SOI层中形成,所述装置包括透镜元件和在SOI结构中界定的、用于以高效的方式提供光耦合的参考表面。波导的输入可来自光纤或光发送器件(激光器)。相似的耦合装置可...
该专利属于斯欧普迪克尔股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过斯欧普迪克尔股份有限公司授权不得商用。
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