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光波导路径的制造方法技术
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文档序号:2661816
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本发明的目的是提供一种对准标记的目测或者光学检测容易的光波导路径的制造方法。在衬底(1)上制造光波导路径时,在衬底上同时用同一材料形成下包层(2)和对准标记(A),其后,在衬底上形成核(3)形成用的感光性树脂层(3a)以便覆盖其金属薄膜(B...
该专利属于日东电工株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日东电工株式会社授权不得商用。
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