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本发明公开一种导引式风向风速传感器，包括：上盖板、下挡体、侧挡板、通孔、悬臂梁阵列、应变传感器；利用微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术中的光刻、腐蚀技术制作出上盖板；侧挡板；键合上盖板和侧挡板；在硅片上制作出下挡体、通孔、悬臂梁阵列和应变传感器...
该专利属于中国科学院电子学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电子学研究所授权不得商用。

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