一种导引式风向风速传感器制造技术

本发明专利技术公开一种导引式风向风速传感器，包括：上盖板、下挡体、侧挡板、通孔、悬臂梁阵列、应变传感器；利用微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术中的光刻、腐蚀技术制作出上盖板；侧挡板；键合上盖板和侧挡板；在硅片上制作出下挡体、通孔、悬臂梁阵列和应变传感器的图案；溅射制作出应变传感器；腐蚀技术制作出通孔和悬臂梁阵列；键合制作的风向导引组件与风敏感组件两部分。这种传感器的特点是风向风速可以同时测量，并可利用微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术将器件制作得很小，可以小于１０毫米×１０毫米×１０毫米。该传感器可以广泛应用于气象探测、环境监测、国防、交通运输等方面。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种导引式风向风速传感器，其特征在于，包括：上盖板（１）、下档体（２）、侧挡板（３）、通孔（４）、悬臂梁阵列（５）、应变传感器（６）；　　　　侧挡板（３）位于上盖板（１）和下档体（２）之间；　　　　上盖板（１）与侧挡板（３）的一面紧密结合；　　　　下档体（２）与侧挡板（３）的另一面紧密结合；　　　　在下档体（２）本体上分布通孔（４）；　　　　侧挡板（３）位于两个通孔（４）之间；　　　　悬臂梁阵列（５）位于通孔（４）内；　　　　悬臂梁阵列（５）一端与应变传感器（６）一端相连，应变传感器（６）的另一端位于通孔（４）的侧壁内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵湛，张建刚，
申请(专利权)人：中国科学院电子学研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]