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本发明提供能够抑制高浓度的加热臭氧水中的臭氧浓度的衰减而制造臭氧浓度极高的加热臭氧水的加热臭氧水的制造方法、加热臭氧水及使用了加热臭氧水的半导体晶片洗涤液。一种加热臭氧水的制造方法，其特征在于，其是在纯水中溶解臭氧而成的加热臭氧水的制造方法...该专利属于国立大学法人东北大学;野村微科学股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国立大学法人东北大学;野村微科学股份有限公司授权不得商用。