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本实用新型提供了一种微机电系统麦克风芯片，其包括具有背腔的基底、分别支撑固定于所述基底且相互绝缘并形成间隔的背极板和振膜，所述振膜位于所述基底与所述背极板之间且分别与所述基底及所述背极板间隔设置；所述基底包括朝向所述振膜的顶面、与所述顶面相...
该专利属于瑞声声学科技(深圳)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声声学科技(深圳)有限公司授权不得商用。

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