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制备卤代硅烷化合物的方法包括以下步骤：(a)提供第一卤代硅烷化合物；(b)提供含有设置在内部的卤化物源的反应容器；(c)将卤代硅烷化合物进料到所述反应容器中；和(d)从所述反应容器收集产物流，其中所述产物流含有第二卤代硅烷。...
该专利属于美利肯公司所有，仅供学习研究参考，未经过美利肯公司授权不得商用。

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