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本发明提供了一种薄膜体声波谐振器及其制造方法，其中，薄膜体声波谐振器包括：承载衬底，所述承载基底包括第一半导体层和第一器件层；第一微器件，所述第一微器件嵌入于所述承载衬底中，且所述第一微器件的至少部分位于所述第一器件层中；介质层，键合于所述...
该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路(宁波)有限公司授权不得商用。

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