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本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制造方法，其中薄膜体声波谐振器包括：第一衬底；键合于第一衬底上的支撑层，支撑层中形成有贯穿支撑层的第一空腔；压电叠层结构，覆盖第一空腔，压电叠层结构从上至下包括依次层叠的第一电极、压电层和第二电极，在有效...
该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路(宁波)有限公司授权不得商用。

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