温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种薄膜体声波谐振器及其制造方法和滤波器、射频通信系统。包括：第一衬底及设置第一衬底上的支撑层，支撑层中设置有顶部开口的空腔；盖设于空腔上的压电叠层，至少两个沟槽，分布于有效谐振区和无效谐振区的交界处以界定有效谐振区的范围，沟槽包...
该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路(宁波)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。