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本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制造方法，谐振器包括：第一衬底，设置有第一空腔；压电叠层结构从下至上包括第一电极、压电层和第二电极，第一电极和第二电极的边缘均位于第一空腔边界内；第一介质层，位于第一衬底和压电层之间，且第一介质层包围第一...
该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司授权不得商用。

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