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本发明提供了一种薄膜体声波谐振器及其制造方法，薄膜体声波谐振器包括：第一衬底，设有第一空腔；压电叠层结构，遮盖第一空腔，压电叠层包括从下至上依次设置在第一衬底上的第一电极、压电层和第二电极；第一电极包括位于有效谐振区的第一电极谐振部和延伸至...
该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司授权不得商用。

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