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本发明公开了一种薄膜体声波谐振器的制造方法，包括：提供第一衬底，第一衬底上形成有压电叠层结构，压电叠层结构包括依次叠层的第二电极层、压电层和第一电极层；在压电叠层结构上形成支撑层；在支撑层中形成贯穿支撑层的空腔；在空腔中填入牺牲层材料，牺牲...
该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路(宁波)有限公司授权不得商用。

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