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本发明提供一种热电堆传感器的制作方法,通过在具有热电堆结构的热电堆结构板上依次形成第一互连层和支撑材料层，且第一互连层中形成有第一导电互连结构，所述支撑材料层中形成有用于制作第一空腔的图形化牺牲结构，由此在将基板和支撑材料层键合后，可以通过...
该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司授权不得商用。

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