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本发明公开了一种碲化铋基薄膜热电模块制造方法、热电模块及热电发电机，制造方法包括以下步骤：在热沉基板上沉积二氧化硅膜层；在二氧化硅膜层上制备多条间隔排列的金属带；在不同的金属带之间的所述二氧化硅膜层的上表面交替沉积P型和N型碲化铋基薄膜，得...
该专利属于苏州科技大学;苏州窄带半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州科技大学;苏州窄带半导体科技有限公司授权不得商用。

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