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半导体装置及其制造方法以及包括半导体装置的显示装置制造方法及图纸
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文档序号:26603432
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本发明的一个方式是一种包括晶体管的半导体装置,其中晶体管包括栅电极、栅电极上的栅极绝缘膜、栅极绝缘膜上的氧化物半导体膜、与氧化物半导体膜电连接的源电极、与氧化物半导体膜电连接的漏电极,氧化物半导体膜包括栅电极一侧的第一氧化物半导体膜以及第一...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。
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