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本发明公开了一种晶圆扫描装置及扫描方法，所述晶圆扫描装置用于安装在晶圆盒底部，晶圆盒内包括数个晶圆槽，所述晶圆扫描装置包括底板、第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和第二侧板垂直于底板并平行对置连接在底板之上，所述第一侧板上设有数个光电发射端，...
该专利属于芯导精密(北京)设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯导精密(北京)设备有限公司授权不得商用。

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