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一种基板干燥腔室，包括：上壳体；下壳体；基板放置板，其与下壳体的底表面联接；上供给口，其形成为面对基板放置板并提供用于干燥的超临界流体的供给路径；和集成式供给和排出口，其从下壳体的侧表面延伸至下壳体的中心区域，形成为面对基板放置板，并提供用...
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