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本发明公开了一种基于双胶层结构的脊型波导DFB激光器的制备工艺，其中脊型区域电流通道开窗口包括步骤：通过等离子增强化学气相沉积方式沉积一层SiO...
该专利属于武汉敏芯半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉敏芯半导体股份有限公司授权不得商用。

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