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本实用新型涉及半导体制造行业，特别涉及一种EFEM恒温恒湿控制设备，包括恒温恒湿控制设备，所述恒温恒湿控制设备设置EFEM上，即半导体前端模块上，用于对进入半导体前端模块内的洁净空气作进一步的处理，所述半导体前端模块包括外壳以及位于外壳内的...
该专利属于飞微科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过飞微科技(上海)有限公司授权不得商用。

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