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本发明涉及一种光刻胶组合物及其应用，所述光刻胶组合物包括如下组分：酚醛树脂、光敏剂和溶剂；所述酚醛树脂具有式I所示结构。该酚醛树脂包括2,5‑二甲基苯酚和3,5‑二甲基苯酚这两个结构单元，该特定结构的酚醛树脂应用于光刻胶组合物中，能够使光刻...
该专利属于江苏艾森半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏艾森半导体材料股份有限公司授权不得商用。

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