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本发明涉及光刻胶用含氟聚合物、包含其的顶部抗反射膜组合物及其在光刻胶中的应用。该光刻胶用含氟聚合物的结构式如下：CF...
该专利属于甘肃华隆芯材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过甘肃华隆芯材料科技有限公司授权不得商用。

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